IEDM 2017の講演2日目(12月5日)午後(その1):記憶密度を2倍に高める3D NAND技術

今回から、12月5日午後の注目講演を順次紹介していく。電荷ベースのメモリ、最先端CMOSのさらなる微細化手法、最先端の金属ゲート技術やコンタクト技術など、興味深いテーマが並ぶ。