多層配線工程に記憶素子を埋め込む不揮発性メモリ技術(後編)

後編では、多層配線工程の中に記憶素子を作り込むタイプの埋め込み不揮発性メモリについて、その利点と、メモリセルの記憶素子を実現する技術を解説する。