2018年5月に開催された「IMW（International Memory Workshop）」のショートコースで行われた技術講座から、「Materials, Processes, Equipment Perspectives of 3D NAND Technology and Its Scaling（3D NAND技術とそのスケーリングに関する材料とプロセス、製造装置の展望）」の概要をシリーズでお届けする。