香川大ら,塩による微細成膜・転写技術を確立 | OPTRONICS ONLINE オプトロニクスオンライン

香川大学と和歌山県工業技術センターの研究グループは,金属薄膜の結晶性制御にヘテロエピタキシャル成長を利用することにより,ナノ光学領域における表面電磁波(表面プラズモン)の光性能およびその微細加工精度を飛躍的に向上できる成膜・転写技術を確立し