錯体化学会第74回討論会に参加・発表しました ~半導体プロセスを化学分析する!~

(English version is here: Reports on the 74th Conference of Japan Society of Coordination Chemistry: Chemical Analysis of Semiconductor Processes - fltech - 富士通研究所の技術ブログ) こんにちは。デバイス&マテリアル研究センターの大津博義です。2024年9月18日から20日まで、岐阜大学および長良川国際会議…