大人気のプロセスコラムの新シリーズ、Siウェーハの大口径化シリーズ全3回のうちの、最終回。今回は、Siウェーハの大口径化の理由と歴史です。なぜ、Siウェーハは大口径化していったのか、またどういった歴史で大口径化していったのか？などを、半導体製造技術のエキスパートが、わかりやすく説明します。