MASS共同利用
id:cermass
ADVANTAGEイオン源分解洗浄
2016.6.28-30 サーモ技術者によるイオン源洗浄および調整 04プレートがかなり汚れていて通電しないほど。 調整およびプレスプリッターの交換をお願いした。