MASS共同利用
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Advロータリーポンプ交換、フィラメント交換
HV落ちと関係あるかわからないが、イオンソースを開けて、チェック。 開ける際、左上のボルトだけが緩かった。(残り3つは締まっていた) 真空度は問題なかったけど。 外観を眺めても、どこかが接触しているとか、みてわかる場所でパーツが外れている等は見当たらない。 しかし、フィラメントを外した時、矢印部分のバネ…