先端半導体、開発事業者にキヤノンなど選定 経産省が420億円支援

経済産業省は、先端半導体製造技術の開発企業として、東京エレクトロン、キヤノン、SCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市)、産業技術総合研究所を選んだと23日に発表した。