半導体製造工程に幅広く使われている石英ガラス製品。熱処理成膜工程で使う石英チューブをはじめ、エッチング工程の石英リング／プレート、さらにはエピタキシャル成長や露光工程でも使われており、半導体を作るうえでは欠かせない部材の1つだ。