SiC製のパワー半導体の普及へ官民連携!革新的なウエハー製造技術の早期確立へ ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
産業技術総合研究所は9日、昭和電工などのウエハー(基板)メーカーを含む17社や公的機関3機関と連携し、次世代パワー半導体用の高品質の炭化ケイ素(SiC)ウエハーの量産技術開発の共同研究を始めたと発表し...