活況の半導体露光…ASML独走を追うキヤノン・ニコン、三者三様の開発戦略 ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
第5世代通信(5G)スマートフォンの普及やデータセンター(DC)の増設、自動車の電動化などを背景に活況が続く半導体露光装置市場。蘭ASML、キヤノン、ニコンの大手3社のうち、唯一極端紫外線(EUV)露...