次世代半導体の量産を目指すラピダス（東京都千代田区、小池淳義社長）は、北海道千歳市に建設中の工場で微細加工に不可欠な極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を２０２４年末に導入することを決めた。併せて２３年内に技...