【福田昭のセミコン業界最前線】 EUVを使わずに微細化の極限を目指す半導体製造技術

 データセンターやスマートフォンなどのプロセッサとSoC(System on a Chip)に使われる最先端ロジックの半導体製造技術は、14nm世代から10nm世代、そして7nm世代へと移行しつつある。半導体製造技術の研究開発成果が披露される国際学会でも最近の2~3年は、10nm世代と7nm世代のCMOSプロセスによる製造技術(CMOSプロセスの…