【福田昭のセミコン業界最前線】 完成に近づいた、SamsungのEUVリソグラフィ採用7nm半導体量産技術

 韓国のSamsung Electronics(以降は「Samsung」と表記)は、微細加工にEUV(Extreme Ultra-Violet: 極端紫外線)リソグラフィを採用した7nm世代の半導体量産技術を開発中である。