【福田昭のセミコン業界最前線】 imec、超大容量メモリを製造可能な3D NAND技術で強誘電体セルを試作

 ベルギーの研究開発機関であるimecを中心とする研究チームは、超大容量不揮発性メモリの製造技術である「3D NAND技術」を強誘電体メモリに応用し、メモリセルを試作した結果を国際学会IEDM(米国カリフォルニア州サンフランシスコで開催)で12月3日(現地時間)に公表した(講演番号および論文番号は2.5)。