【福田昭のセミコン業界最前線】 NANDフラッシュメモリに続いて大容量DRAMも将来は3次元積層へ

 半導体デバイス・プロセス技術と半導体回路技術に関する最先端の研究開発成果を披露する国際学会「VLSIシンポジウム(2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits)」が、2023年6月11日(日曜日)~16日(金曜日)に京都市のホテル「リーガロイヤルホテル京都」で開催される。略称は「2023 VLSIシンポジウム」あるい…