【福田昭のセミコン業界最前線】 3次元化するサブナノメートル時代のCMOSロジック

 本コラムの前回でお伝えしたように、半導体のデバイス技術とプロセス技術に関する世界最大の国際学会「IEDM(International Electron Devices Meeting)(通常の呼称は「アイイーディーエム」、日本語の通称は「国際電子デバイス会議」)」が、米国カリフォルニア州サンフランシスコで現地時間2023年12月9日~13日に開催され…