VLSIシンポジウムで、2nm以降のデバイスを支えるFETや配線、メモリなどの革新技術

 半導体の研究開発コミュティにおける夏の恒例イベント、「VLSIシンポジウム」が今年2022年も始まった。VLSIシンポジウムの開催地は、西暦の奇数年が日本の京都(会場は「リーガロイヤルホテル京都」)、偶数年が米国のハワイ(会場は「Hilton Hawaiian Village」)というのが最近の通例である。しかし新型コロナウイルス感染…