Cortex-M7はハーバードキャッシュ（命令キャッシュとデータキャッシュ）を搭載しています。キャッシュのサイズはマイコンベンダーのオプションになっていて、命令キャッシュとデータキャッシュで各々4KB～64KBを選ぶことができます。