KABRA:SiCウェーハメイキングプロセス新時代へ インゴットスライスの高速化・ウェーハ取り枚数増を同時に実現

株式会社ディスコ:SiCウェーハの高速生産・素材ロス大幅低減を実現。新たな加工手法によるレーザスライス技術・KABRAプロセスを開発。