■設計変更し装置製造「（半導体の組み立て・検査をする）後工程で使う装置の受注が１年先まで入っている」。芝浦メカトロニクスの道嶋仁取締役専務執行役員は、うれしい悲鳴をあげる。従来、後工程で使う装置の受注...