半導体洗浄装置のJET、ラピダス向けに試作装置開発へ - 日本経済新聞

半導体洗浄装置メーカーのジェイ・イー・ティ(JET)は3日、最先端半導体の製造を目指しているラピダスの北海道工場向けに試作装置を開発すると発表した。2025年の完成を予定する工場の試作ラインに納入す