Mipox、パワー半導体を顕微鏡で検査 - 日本経済新聞

半導体用研磨剤などを製造するMipoxは、次世代パワー半導体のウエハー内部に含まれる結晶の欠陥を可視化できる新しい検査技術を開発した。この技術を応用すれば、半導体デバイスの歩留まり(良品率)の改善が期待できるという。次世代パワー半導体は電気自動車(EV)や通信基地局などで需要が高まっており、新技術がパワー…