（10時43分、プライム、コード6315）半導体製造装置を手掛けるTOWAが堅調となっている。前日比210円（5.37%）高の4115円と、2000年9月以来23年ぶりの高値を付けた。26日付の日本経済新聞朝刊が「データセンターの効率的な運用などを目指して複数の半導体を1つにまとめる封止装置を開発した」と報じたのが手掛かりとな