東京エレクトロンが半導体製造装置大手の米ラムリサーチに挑戦状をたたきつけた。ラムが100%のシェアを持つ、ある工程の装置で画期的な技術を開発した。ラムの牙城を崩すとの見方が多く、将来の増収効果は数千億円規模になる可能性がある。市場環境に左右されずに続けてきた攻めの投資が実りつつある。「この分野で装置を…