キヤノン、先端半導体製造装置「ナノインプリント」発売 - 日本経済新聞

キヤノンは半導体製造工程でウエハーに回路を描く装置の新製品を発売した。「ナノインプリント」と呼ばれる新技術を使った装置で、スマートフォンやデータセンターなどが必要とする最先端半導体の製造を低コスト、省エネルギーで実現できる。ウエハーに回路を描く際は一般的に露光装置と呼ぶ光を使った技術を用いる。ナノ…