最先端半導体の量産を目指すラピダスが計画の実現に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置の搬入を始めた。18日には工場を建設中の北海道千歳市で記念式典を開いた。先端半導体の製造に使うEUV露光装置の導入は国内で初めて。同社を中心に高度なノウハウを蓄えることが、日本の半導体産業が世界競争に復帰する一歩となる。…