いよいよ国内にも本格導入される見込みのEUV露光装置だが、技術的な特長はどこにあるのか。同装置を開発するASMLによると、高精度な「ミラーレンズ」と出力25kWの炭酸ガスレーザーを用いた「EUV光源」の実現が壁だった。